光罩盒Mask Package),意为储存光罩的盒子,主要用于避免光罩遭受外部微尘粒子及化学污染[1]

分类

  • 光罩运输盒:由光罩制作厂运输至晶圆厂间运输用;
  • 光罩厂区内部运输盒;
  • 光罩机台传送盒:将光罩送入机台的盒子,针对特定的设备使用不同的传送盒。其中包括非SMIF系统和SMIF系统。

参照

参考文献

  1. ^ 光罩载具